![Bas Dielissen talking about reliability at ASML](https://innovationorigins.com/app/uploads/2024/06/Reliability-event.jpeg)
Een diepgewortelde drang naar innovatie en perfectie in prestaties is aanwezig in alle processen die ASML binnen haar organisatie heeft geïnstalleerd. Hetzelfde geldt ook voor het streven naar betrouwbaarheid. In zijn presentatie op het Reliability Symposium dat onlangs werd georganiseerd door Holland Innovative, belichtte Bas Dielissen van ASML het belang van betrouwbaarheid als hoeksteen van ASML’s ambities. Hij verbond het onderwerp met de onmisbare rol van chips in de moderne samenleving.
Dielissen liet zien hoe de systemen van ASML de grenzen van de halfgeleiderproductie verleggen. Met meer dan 42.000 werknemers wereldwijd heeft ASML zich ontwikkeld tot een wereldleider in de technologie-industrie, gedreven door haar niet aflatende inzet voor innovatie en betrouwbaarheid.
Betrouwbaarheid
Betrouwbaarheid – reliability – zit in de kern van ASML’s missie. Door geavanceerde betrouwbaarheidsmethodes en -tools te integreren in elke fase van het ontwerp- en productieproces, zorgt ASML ervoor dat het voldoet aan de verwachtingen van haar klanten op het gebied van hoogwaardige en betrouwbare systemen. Deze toewijding ondersteunt de groei van het bedrijf en stelt haar klanten in staat om te innoveren en uit te blinken in een snel veranderend technologisch landschap.
Het belang van chips
“Allereerst kan ik me geen wereld zonder chips meer voorstellen,” begon Dielissen terwijl hij de alomtegenwoordigheid van chips in verschillende technologische toepassingen benadrukte. Van kunstmatige intelligentie tot energietransitie en gezondheidszorg, chips zijn een integraal onderdeel van het oplossen van enkele van ‘s werelds meest urgente uitdagingen. De grote vraag naar geavanceerde computercapaciteiten onderstreept de kritieke behoefte aan betrouwbare en efficiënte halfgeleidertechnologie.
Complexiteit van ASML’s systemen
ASML’s systemen staan bekend om complexiteit en precisie. De ontwikkeling van de nieuwste EUV-systemen nam bijvoorbeeld meer dan 20 jaar in beslag. Deze systemen maken gebruik van minuscule tindeeltjes en een krachtige CO₂-laser om EUV licht te genereren, wat cruciaal is voor het maken van de fijne patronen die nodig zijn in moderne chips. Gezien de hoge inzet is de betrouwbaarheid van deze systemen van het grootste belang. Dielissen legde uit dat elke storing, zelfs van een enkel onderdeel van de 100.000 die het systeem telt, kan leiden tot aanzienlijke uitvaltijd en financiële verliezen.
Uitvaltijd tot een minimum beperken
Om de betrouwbaarheid van zijn systemen te handhaven, heeft ASML een reliability-afdeling met ongeveer 200 ingenieurs. Dit team is betrokken bij elke fase van het ontwerpproces en zorgt ervoor dat betrouwbaarheid is ingebouwd in elk onderdeel en elk systeem. Dielissen lichtte de allesomvattende aanpak toe die betrouwbaarheidsafwegingen integreert in de gehele levenscyclus van ASML’s producten.
Een essentieel hulpmiddel in ASML’s betrouwbaarheidsarsenaal is de Reliability Database (RDB), die de prestaties van onderdelen en systemen in de loop van de tijd bewaakt. Deze database heeft zich ontwikkeld van een lijst met getallen tot een interactief dashboard dat toegankelijk is voor alle ASML engineers. Het dashboard geeft gedetailleerd inzicht in de prestaties van onderdelen en helpt technici om betrouwbaarheidsproblemen snel te identificeren en aan te pakken.
![](https://innovationorigins.com/app/uploads/2022/04/YWf1X6Ft-BIC-TNO-3-Bram-Saeys.jpeg)
Innovatieve tools
Dielissen liet verschillende geavanceerde tools zien die ASML gebruikt om de betrouwbaarheid van systemen te analyseren en te verbeteren. De “Lifeline plot“, bijvoorbeeld, geeft de systeemprestaties visueel weer in de loop van de tijd, markeert storingspatronen en begeleidt ingenieurs bij hun analyse van de hoofdoorzaak. Met controlediagrammen kan ASML de prestaties van onderdelen nog beter bewaken en trends herkennen die kunnen duiden op opkomende betrouwbaarheidsproblemen. Op die manier kan het systeem de echte problemen voor zijn.
Balanceren tussen betrouwbaarheid en kosten
Naast de technische analyse moet ASML vanzelfsprekend ook rekening houden met de economische impact van betrouwbaarheidsverbeteringen. Door gegevens over onderdeelgebruik, kosten en CO₂-impact te combineren, geeft het bedrijf prioriteit aan inspanningen om de meest kritieke problemen aan te pakken. Deze holistische benadering zorgt ervoor dat middelen efficiënt worden toegewezen, waardoor de betrouwbaarheid van ASML’s systemen wordt gemaximaliseerd en tegelijkertijd de total cost of ownership voor klanten binnen de perken blijft.