Nederland is met het Veldhovense bedrijf ASML leidend in het produceren van alsmaar kleinere computerchips. Met de nieuwste machines van ASML kunnen chips worden gemaakt met details die niet groter zijn dan een handvol nanometers. Het kan bijna niet kleiner zou je zeggen, maar een Cypriotische promovendus aan de Technische Universiteit Eindhoven heeft een nieuwe sensor ontwikkeld waarmee dat misschien toch mogelijk is. Dat schrijft de TU in een persbericht.

ASML maakt zelf geen chips, maar wel de machines waarmee dat gebeurt. Er wordt daarbij gebruikgemaakt van lithografie. Dat is een techniek waarbij met behulp van ultraviolet licht een patroon wordt geëtst op een schijf van silicium. Omdat voor één chip meerdere van die patronen over elkaar moeten worden gelegd, is de positionering van de siliciumschijf – ook wel bekend als wafer – extreem belangrijk. Zelfs de geringste vervorming van de wafers is al een probleem.

Foto ASML

ASML gaat door met het onderzoek

Andreou: “Die wafers zijn op zich best stijf, maar doordat ze met grote snelheid worden bewogen, zullen ze door de g-krachten toch een beetje vervormen. Als we die vervorming kunnen meten, kunnen ze bij ASML proberen daarvoor op één of andere manier te compenseren om zo nog kleinere chips te maken.”

Andreou is inmiddels verhuist van Eindhoven naar de TU Delft, maar zo zegt hij: “Er loopt een vervolgproject in Eindhoven samen met ASML, dat ook een deel van de apparatuur heeft geleverd voor mijn project. Mijn werk krijgt dus een vervolg.”